炬光科技：公司的光場勻化器產品應用于國內主要光刻機研發項目和樣機中

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司目前光刻機零部件供應情況如何，是否與上海微電子有合作？

炬光科技（688167.SH）3月22日在投資者互動平臺表示，公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件——光場勻化器，供應給世界頂級光學企業A公司，最終應用于全球高端光刻機生產商的核心設備；同時，公司與國內在這一領域的研發單位有廣泛合作，公司的光場勻化器產品應用于國內主要光刻機研發項目和樣機中。公司在招股書“與半導體光刻產業的融合情況”中原文“公司是A公司重要供應商。同時也為中國科學院、上海微電子裝備（集團）股份有限公司、美國科磊半導體等行業知名半導體集成電路設備科研和生產機構提供相關產品。”

(記者 姚祥云)

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