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炬光科技:公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件——光場勻化器

每日經濟新聞 2023-03-20 19:16:54

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:您好,請問貴公司產品是否可以用于光刻機?

炬光科技(688167.SH)3月20日在投資者互動平臺表示,公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件——光場勻化器(招股書中“光場勻化器——光刻應用”),供應給世界頂級光學企業A公司,最終應用于全球高端光刻機生產商的核心設備。同時,公司與國內在這一領域的研發單位有廣泛合作,公司的光場勻化器產品應用于國內主要光刻機研發項目和樣機中。

(記者 王瀚黎)

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