南大光電：公司ArF光刻膠聚焦28nm-90nm工藝驗證，涉及的主要檢測設備如光刻機已經正常投入使用

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司2年來一直沒有買到的光刻膠缺陷檢測儀是否是公司光刻膠得到客戶驗證量產繞不過的必要條件？如果公司一直沒有光刻膠缺陷檢測儀，那么公司所試生產的光刻膠是否就一直得不到客戶的驗證而無法進行量產？公司延期一年的募投項目光刻膠能否如期到今年年底量產？如果依舊不能量產的話，募投項目是否再次延期還是直接計提投資損失？

南大光電（300346.SZ）12月2日在投資者互動平臺表示，缺陷檢測儀主要針對28nm以下工藝制造的光刻膠檢測，目前公司ArF光刻膠聚焦28nm-90nm工藝驗證，涉及的主要檢測設備如光刻機已經正常投入使用。 

(記者 畢陸名)

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