“自主可控”攻堅時刻，復享光學用深度光譜技術賦能半導體裝備制造

每經記者 唐如鈺    每經編輯 吳永久    

“在頭發絲千分之一面積的地方繪畫”是對微納米制造最為形象的描述之一，而光譜檢測則是在千分之一的頭發絲上找信息、測元素、挑毛病。這樣的技術在過去被廣泛應用于光伏產業的質量檢測、珠寶的鑒定、LED在線監測、食品安全檢測和大氣二氧化硫檢測等多個領域；近年來隨著微納技術的發展，其又作為質檢手段出現在微納制造的各個環節。

復享光學（以下簡稱“復享”）即是一家致力于用光譜技術為科研創新市場與集成電路設備市場提供光譜檢測分析儀器和專業的解決方案的企業，成立于2011年，擁有多項自主可控的知識產權，著力于光子學與人工智能的融合，系一家以算法驅動的光譜硬科技公司。

從實驗室走出的硬科技企業

2009年還在復旦讀博士的殷海瑋拉著兩個學弟在學校實驗室里做出了第一款原型產品——便攜式光譜儀。彼時，他們的目標還只是研發出自己實驗需要但市面尚無銷售的儀器；后來這個目標逐漸從自身實驗擴大到滿足更多光學研究人員的實驗需求，殷海瑋的創業之路也隨之開啟。

他把自己歸為典型的大學生創業者，復享也是從是實驗室走出來的企業。2012年，初創的公司從上海創業接力基金處拿到了550萬元風險投資，該基金為上海大學生科技創業基金會下屬機構，“550萬放在今天看可能不算什么，但在當時確實是大學生能拿到的一筆巨款了”，殷海瑋回憶道。

隨后的幾年里，復享開啟了商業化進程——聚焦光譜檢測與微納制造兩大領域，公司的核心技術則應用于光譜儀、角分辨光譜、共焦光譜等儀器的研發生產。雖然，商業化在推進，但最初的幾年里復享的業務仍集中在學術圈，客戶多為院校實驗室和前沿領域的科研人士。

近年來，微納制造的快速發展和芯片半導體“卡脖子”問題，讓復享看到了更多向工業賽道轉型的機會，以及光譜技術在半導體制造環節可發揮的能量。

“這十年的積累讓我們逐漸知道光譜檢測還可以在微納制造工業發揮哪些作用，尤其從三年前半導體自主可控變得非常迫切后，我們的技術與服務也進一步向微納領域光電子、半導體器件、集成電路領域的客戶傾斜”，他說道。

跳出學術圈，“糾偏”半導體制造

殷海瑋向《每日經濟新聞》記者介紹，芯片半導體制造是當下微納技術最重要的應用領域之一。與此同時，這也是一個容錯率極低的行業，“半導體的產業鏈很長、細分環節步驟眾多，而每一個步驟里哪怕是0.1%的誤差都可能對成品的良品率造成致命的打擊，我們要做的就是運用頻率、動量、相位、空間分辨這些深度光譜技術以及人工智能解決方案去完成半導體制程中的檢測，糾正這0.1%的誤差。”

據介紹，目前復享已與半導體產業中光刻、刻蝕、鍍膜、量測、CMP等環節中的多個頭部設備企業開展了業務合作，邁出進口替代的關鍵一步，同時也是能為產業提供高端光譜模組的供應商。

殷海瑋表示，目前公司在半導體領域的業務分為兩大板塊——一方面是向“自主可控”賦能，“卡脖子”問題出現后，很多企業要么是買不到新的設備，要么是之前買的進口設備得不到后續服務，我們要做的就是用光譜模組技術解決他們當下一些痛點問題；另一方面，則是幫助新興產業的企業解決效率、成本問題，“比如AR虛擬現實眼鏡，很早之前大家就知道這個東西，但為什么還沒有消費級的產品大面積出現，就是因為它用到的光子芯片造價非常高，我們的工作之一就是幫客戶把成本壓到電子消費品的價格范圍內，所以在這些新領域里要做的還非常多。”

據悉，復享已于近期完成了上億元B輪融資，資金將被主要用于人才擴充、研發生產場地的擴容、升級以及前沿技術布局。

微縮近極值后，是光替代電？

除了用光譜檢測賦能微納制造外，殷海瑋更期待的是參與“光取代電”的進程。他認為，我國半導體行業將經歷發展的三大進程：首先是解決當下的“卡脖子”問題，舉全國之力把核心生產工藝、軟硬件徹底國產化；其次是在尺寸微縮逼近極限后，集成電路由2.5維結構向三維堆疊結構的升級，以及納米片、二維材料等新技術的出現與應用，“這個過程至少還將持續10年，也是摩爾定律進一步發展的空間”；第三則是從電到光的變革，“作為計算的媒介和能量載體，光的特性遠強于電流，比如光子間干擾作用低、大帶寬、超強的量子計算能力等等，所以第三個進程里我們會看到由集成電，到集成光電，最后到純粹的集成光，這三個進程其實是同時發生的，但實現的順序有先后，當務之急是解決信息產業安全問題，其次再是把集成電路的28納米成熟工藝推進到14-7納米先進工藝，最后再逐步去推進光、電的替代轉化。”

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封面圖片來源：攝圖網